用于純氣中雜質(zhì)氣體分析的氣相色譜檢測器主要有以下幾種：
 

　　1、熱傳導(dǎo)池檢測器(TCD)
 

　　該檢測器的指標(biāo)可以達(dá)到ppm級檢測。與變溫濃縮法配合可以檢測到ppb級，例如高純氫氣，超純氫的檢測可以測到0.1ppb(0.1x10-9V/V)級。
 

　　2、氣敏檢測器
 

　　在檢測高純氮?dú)獾膰覙?biāo)準(zhǔn)(GB/T8980-1996)中用此檢測器可以檢測到此0.1ppm雜質(zhì)氫氣。
 

　　3、氫火焰離子化檢測器(FID)
 

　　國家標(biāo)準(zhǔn)(GB/T8984.1-3-1997)氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳烴化合物的測定是利用火焰離子化法轉(zhuǎn)化后，直接測定,可檢測zui小濃度0.1ppm。配合變溫濃縮可測到1 ppb。
 

　　4、改性離子檢測器(M-ArID)
 

　　將氬離子化檢測器改性后可以檢測高純氬中的氫、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳雜質(zhì)氣，zui小檢測濃度可到0.1ppm。
 

　　5、氦離子化檢測器(HeID)
 

　　該檢測器大多使用檢測高純氦氣中雜質(zhì)氣體，直接檢測可到1ppb [3，16] 。也有與切換技術(shù)配合檢測其它高純氣中雜質(zhì)氣[15]。
 

　　6、電子捕獲檢測器(ECD)
 

　　該檢測器可以檢測高純氮?dú)?、氬氣、一氧化碳等氣中的痕量?ppb級)。
 

　　7、另外還有氧化鋯檢測器、離子遷移檢測器等。